今天的《院士说》，我们走近陈学东院士团队。他们22年如一日，攻克光刻机减振器研发瓶颈。

在华中科技大学，陈学东院士和团队成员正在对刚组装好的减振器进行性能检测，把振动降低3个量级以上，是他们眼下的目标。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东：“一般的减振器能够把一赫兹以上的振动都能够减掉，但对光刻机来讲它是远远不够的，零点几赫兹的振动都要把它减掉，越往低走是越难，人站在跟前，脑袋往上一蹭，如果说不加以控制的话，光刻都是刻不成的。”

减振器被称为光刻机的“基石”，是光刻机稳定性和成品率的核心保障，由于无法突破技术瓶颈，一度长期依赖进口。2002年，长期从事机械动力学设计与控制研究的陈学东，开始了研发国产减振器的艰难探索。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东：“你比如说这么一个普通的橡胶制品，不起眼的东西，它实际上在这个减振器里面起到一个非常重要的作用，既要密封，还要受力，我们自己去研究它的材料特性，联合搞材料的人，做新型材料，试了大概几十种，要么上去以后强度根本不够，还有暂时强度够了，它的疲劳寿命很短，用不了多久它就失效了，最后选出了一个符合的。”

减振器有大大小小的零件上百种，每一个零件都决定成败，每一个零件都需要自主研发。经过不懈努力，陈学东团队发明出准零刚度减振器，填补了国内高端主动减振器技术空白，实现国产化替代和配套生产。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东：“在国际上能够做最高端产品的国家，目前我们的总体技术的测量指标，总体上和他们是相当的，某些单元的技术指标还好于他们。”

科研之路无止境。如今，陈学东院士培养的研究生已经超百人，围绕光刻机动力学设计和控制领域的一个个难题，他们还将继续攻关拔寨，把核心技术牢牢掌握在自己手中。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东：“像光刻机里面的一些核心技术，再比如说像人形机器人里面的一些关联问题，尽快解决，才能满足我们国家发展的要求。”

华中科技大学机械科学与工程学院教授姜伟：“你再怎么卡脖子，我们肯定必须要去做，这是毫无疑问的，我们，再到我的学生，一代代地传承。”

（长江云新闻记者 汪佳睿 唐清辉 张燃 通讯员 左盈）