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院士说 | 中国工程院院士陈学东:22年如一日 磨出光刻机“基石”

长江云新闻    ©原创 2024-03-29 20:30  

今天的《院士说》,我们走近陈学东院士团队。他们22年如一日,攻克光刻机减振器研发瓶颈。

在华中科技大学,陈学东院士和团队成员正在对刚组装好的减振器进行性能检测,把振动降低3个量级以上,是他们眼下的目标。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东:“一般的减振器能够把一赫兹以上的振动都能够减掉,但对光刻机来讲它是远远不够的,零点几赫兹的振动都要把它减掉,越往低走是越难,人站在跟前,脑袋往上一蹭,如果说不加以控制的话,光刻都是刻不成的。”

减振器被称为光刻机的“基石”,是光刻机稳定性和成品率的核心保障,由于无法突破技术瓶颈,一度长期依赖进口。2002年,长期从事机械动力学设计与控制研究的陈学东,开始了研发国产减振器的艰难探索。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东:“你比如说这么一个普通的橡胶制品,不起眼的东西,它实际上在这个减振器里面起到一个非常重要的作用,既要密封,还要受力,我们自己去研究它的材料特性,联合搞材料的人,做新型材料,试了大概几十种,要么上去以后强度根本不够,还有暂时强度够了,它的疲劳寿命很短,用不了多久它就失效了,最后选出了一个符合的。”

减振器有大大小小的零件上百种,每一个零件都决定成败,每一个零件都需要自主研发。经过不懈努力,陈学东团队发明出准零刚度减振器,填补了国内高端主动减振器技术空白,实现国产化替代和配套生产。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东:“在国际上能够做最高端产品的国家,目前我们的总体技术的测量指标,总体上和他们是相当的,某些单元的技术指标还好于他们。”

科研之路无止境。如今,陈学东院士培养的研究生已经超百人,围绕光刻机动力学设计和控制领域的一个个难题,他们还将继续攻关拔寨,把核心技术牢牢掌握在自己手中。

中国工程院院士、华中科技大学机械科学与工程学院教授陈学东:“像光刻机里面的一些核心技术,再比如说像人形机器人里面的一些关联问题,尽快解决,才能满足我们国家发展的要求。”

华中科技大学机械科学与工程学院教授姜伟:“你再怎么卡脖子,我们肯定必须要去做,这是毫无疑问的,我们,再到我的学生,一代代地传承。”

(长江云新闻记者 汪佳睿 唐清辉 张燃 通讯员 左盈)

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